L'interféromètre à lumière blanche de Mitutoyo

Précision sans contact dans les espaces les plus restreints : l'interféromètre à lumière blanche de Mitutoyo /// 23 juillet 2026

Quiconque souhaite mesurer des surfaces à l'échelle nanométrique est confronté à un dilemme classique : d'un côté, une précision de mesure maximale ; de l'autre, une robustesse adaptée à un usage industriel. Avec son système WLI, Mitutoyo a trouvé le moyen de concilier ces deux exigences dans un appareil compact.

De la lumière plutôt qu'une pointe tactile

Le principe de mesure de l'interférométrie en lumière blanche est établi depuis des années dans le domaine de la métrologie optique, mais son utilisation industrielle a longtemps été compromise par la sensibilité des systèmes aux vibrations, aux variations de température et au niveau général de rudesse d'un environnement de production. Le WLI de Mitutoyo a précisément été développé pour répondre à ce problème. Le résultat est un système qui exploite la nature ondulatoire de la lumière pour détecter les différences de hauteur sur les surfaces avec une résolution verticale de l'ordre du nanomètre, et ce de manière fiable, même dans des conditions industrielles.

Contrairement aux méthodes tactiles, dans lesquelles une pointe de palpage est guidée mécaniquement sur la surface à mesurer, l'ensemble de l'acquisition des données s'effectue, avec le WLI, sans contact, à l'aide d'un capteur de surface. Pas de contact, pas d’usure, pas de détérioration de l’échantillon. C’est un avantage décisif, notamment pour les matériaux tendres, les microstructures fines ou les surfaces revêtues – des domaines dans lesquels les appareils de palpage conventionnels atteignent tout simplement leurs limites.

Des caractéristiques techniques convaincantes

Le système WLI de Mitutoyo atteint une résolution latérale de 0,5 micromètre, ce qui permet une analyse précise et détaillée des éléments de surface les plus infimes. Il convient notamment de souligner que la haute résolution verticale reste constante, quel que soit le grossissement optique utilisé. Une caractéristique qui offre une grande flexibilité lors des opérations de mesure impliquant des tâches variées.

Avec des dimensions de 108 x 68 x 191 mm, la tête de mesure est d'une conception extrêmement compacte. La séparation entre la tête de capteur et le contrôleur permet d'intégrer l'appareil aussi bien en configuration fixe qu'en solution en ligne, directement dans des machines, des lignes de production ou des postes de contrôle. Même lorsque l'espace disponible est limité. Une interface de programmation (API) complète garantit que le système s'intègre sans grande difficulté dans les solutions d'automatisation existantes.

Optiques issues de notre propre production

L'une des caractéristiques essentielles du Mitutoyo WLI réside dans le fait que tous les composants optiques et photomécaniques sont entièrement développés et fabriqués en interne. Les optiques d'interférence constituent le cœur du système : le signal d'interférence étant généré directement dans l'objectif, leur qualité a une influence directe sur le résultat de la mesure. Grâce au contrôle de l'ensemble de la chaîne de fabrication, Mitutoyo est en mesure de garantir un ajustement et une harmonisation précis de tous les composants entre eux. Ce qui ne serait pas possible de la même manière avec des systèmes utilisant des composants achetés auprès de fournisseurs tiers.

Les optiques sont conçues pour s'adapter même aux surfaces difficiles : les matériaux fortement réfléchissants ou à diffusion diffuse ne constituent pas un obstacle majeur pour le système. Cela a une incidence directe sur la reproductibilité des résultats de mesure – un aspect qu'il ne faut pas sous-estimer dans le cadre de la mesure en série et de l'assurance qualité.

Domaines d'application : partout où la précision est essentielle

Les domaines d'application du Mitutoyo WLI vont de l'industrie des semi-conducteurs, où les structures des plaquettes doivent être contrôlées selon des tolérances très strictes, à la fabrication optique en passant par la technologie médicale.

Dans le domaine des technologies médicales, par exemple, la compatibilité et la fonctionnalité des surfaces des implants et des outils sont contrôlées, et les caractéristiques de surface les plus infimes peuvent s'avérer décisives. Lors de la fabrication de composants optiques tels que des lentilles, des prismes ou des guides d'ondes, les profils de surface doivent être mesurés avec précision afin de garantir un guidage optimal de la lumière.

De plus, ce système convient en principe à toutes les applications pour lesquelles la mesure classique de la rugosité atteint ses limites : acquisition topographique tridimensionnelle, analyse de l'épaisseur des couches ou évaluation des structures de surface après les processus d'usinage. Sa capacité à capturer aussi bien les surfaces lisses que les surfaces structurées fait du Mitutoyo WLI un instrument de mesure polyvalent.

Le Mitutoyo WLI démontre que la précision de mesure à l'échelle nanométrique et la robustesse industrielle ne s'excluent pas mutuellement. Sa conception compacte, ses optiques développées en interne et sa capacité d'intégration bien pensée en font un outil incontournable pour les tâches de contrôle exigeantes dans la fabrication moderne.