WLI

Objektivy a mikroskopové jednotky pro možnost bezkontaktního 3D mapování

Jednotka WLI

W L I = White Light Interference

Bezkontaktní měření jemné textury povrchu s vysokou přesností použitím metody interference bílého světla

Umožňuje 3D měření tvaru, 3D (i klasické 2D - na přímce) měření drsnosti.

Měření a rozlišení v ploše (X, Y) je shodné s klasickou mikroskopií, je dáno zvětšením objektivu.

Rozlišení se pohybuje kolem 1 µm (při zvětšení 5x).

Měření výšky (Z) je prováděno pomocí interference, proto přesnost není závislá optickém zvětšení objektivu.

Rozlišení je 4 nm = 0,004 µm (!).

Příklady použití a výstupů z jednotek WLI

Testovací vzor na polovodiči

Profil drsnosti z kalibrační destičky drsnosti

Opracovaný povrch na hliníku

Vzor (měď) na skleněné podložce

Jednotka WLI na předváděcím stojanu. Stojan je navíc vybaven motorickým křížovým stolem a antivibračními nohami. Vlevo nahoře zobrazení části křemíkového waferu s polovodičovou strukturou v programu MCubeMap ultimate.

Samostatné objektivy WLI

Objektivy WLI jsou součástí rodiny objektivů Mitutoyo a vyznačují se univerzálností použití, vysokou kvalitou a příznivou cenou.

WLI objektivy se používají ve specializovaných aplikacích a výrobních a kontrolních zařízení.

Mitutoyo WLI objektivy mohou být použity jako změna obdobných objektivů jiných výrobců.

Parametry WLI objektivů

WLI Plan Apo Series
Objective lens	2,5X	5X	10X	25X	50X
N.A.	0,14	0,28	0,38	0,50	0,70
W.D. (mm)	13,0	8,0	6,0	3,6	2,0
F (mm)	40	20	10	4	2
R (µm)	2.00	0.98	0.72	0.55	0.39
FOV (mm) with 2/3 inch camera	2,64 x 3,52	1,32 x 1,76	0,66 x 0,88	0,26 x 0,35	0,13 x 0,18

Parfocalizing distance = 60 mm
Applicable tube lens = 100 mm

Související

TAGLENS - úspora času

TAGLENS společnosti Mitutoyo je revoluční technologie, která využívá nový typ čoček umožňující vysokorychlostní automatické zaostřování a zobrazování s vysokým rozlišením v optických mikroskopech. Podívejte se na naše video a zjistěte více!

Sledujte zde

Další bezplatný software

Pro další bezplatné použití našich různých softwarů se podívejte na naši nabídku MeasurLink 10 a zjistěte, zda byste si některý z nich nechtěli vyzkoušet sami!

Zjistěte více

MiCAT Planner

Dílčí programy - snadné, rychlé a spolehlivé. Bez ohledu na to, jaké jsou vaše měřicí úlohy, MiCAT Planner přináší do vašeho programování založeného na CAD řadu výhod.

Zjistěte více